研究方向：

先进集成电路工艺，如原子层沉积(ALD)纳米级功能薄膜

新型氧化物半导体材料与器件，如薄膜晶体管

新型微纳结构MEMS器件，如光电、气体、生物传感器及能源器件

混合信号和存储器的集成电路设计

教育背景：

复旦大学，微电子学与固体电子学，博士学位

学术经历：

2010年7月-至今复旦大学，副教授、教授

2007年11月-2009年11月东京大学工学部，JSPS研究员

2006年09月-2007年10月意大利微电子材料与器件国家实验室，博士后

荣誉称号：

复旦大学卓学人才

科研获奖：

上海市科学技术奖（技术发明）二等奖

上海市真空青年创新奖