研究方向：

集成电路新型互连材料研究

三维异质集成工艺研究

高深宽比TSV和大马士革电镀填充研究

化学机械抛光和后清洗研究

氧化物薄膜晶体管研究

教育背景：

1999年7月复旦大学电子工程系，微电子与固体电子学专业，博士

1996年7月中科院上海硅酸盐研究所，无机非金属专业，硕士

1993年7月华中科技大学，固体电子学系，学士

个人经历：

2009年12月-2010年01月香港城市大学，访问学者

2008年08月-2018年05月复旦大学，信息学院，党委副书记

2006年04月-至今复旦大学，微电子学学院，教授、博士生导师

2006年02月–2006年04月美国UCLA大学，材料科学系，访问学者

2005年09月–2005年10月比利时根特大学，访问学者

2003年09月–2008年07月复旦大学，信息学院，院长助理、主管外事

2001年11月–2006年03月复旦大学，微电子学系，副教授

2001年06月–2001年11月复旦大学，微电子学系，讲师

2000年03月–2001年03月比利时根特大学，固态科学系，博士后

学术任职：

IEEE高级会员，美国电化学学会会员

中国化学机械平坦化联盟（China-CMPUG）副主席（2015-）

中国机械工程学会摩擦学分会微纳制造专业委员会副主任委员（2013-）

国际ICPT会议执行委员会委员（2012-）

2016年国际抛光大会ICPT2016程序委员会主席（2016.10.17-19）

2015年9月韩国ADEMTA会议邀请报告，5月海峡两岸平坦化技术研讨会（清华大学）邀请报告、分会主席

2014年 3月CSTIC会议邀请报告、3月TFPM会议主旨报告、8月美国CMP会议（Albany）邀请报告、9月海峡两岸平坦化技术研讨会（台中）邀请报告；10月ICSICT会议（桂林）分会主席

2013年海峡两岸平坦化技术研讨会（天津）邀请报告、分会主席

2012年10月ICPT会议（法国, Grenoble）邀请报告、分会主席

2011年11月国际ICPT会议（韩国,首尔）分会主席

2011年3月CSTIC会议邀请报告

2011年5月第六届复旦－诺发铜互连技术国际研讨会主席。2004-2008年五届复旦－诺发铜互连技术国际研讨会主席

2010年10月国际集成电路和固态技术会议（ICSICT）分会主席，上海， 2010年1月IEEE国际纳米电子学会议INEC （香港）分会主席

2008、2010年第八届、第十届国际结技术研讨会（IWJT）组织委员会共主席

2006年第六届国际结技术研讨会（IWJT）程序委员会共主席

2004年第四届国际结技术研讨会（IWJT）出版委员会主席，主编“第四届国际结技术研讨会”论文集

2001年编辑“第六届国际集成电路和固态技术会议”论文集（第三编辑），美国电化学学会杂志、欧洲Elsevier杂志（Thin solid films等）、IOP杂志（Nanotechnology等）、Wiley杂志、IEEE EDL、美国ACS杂志、中国半导体学报、中国物理快报等杂志审稿人

荣誉称号：

获得上海市“曙光学者”称号，2012

获得“教育部新世纪优秀人才”称号，2011

获得“复旦大学2009年度优秀研究生导师”称号，2009

获得“上海高校优秀青年教师”荣誉称号，2009

复旦大学陆宗霖奖教金，2008

获得上海市科委“启明星跟踪”人才项目，2008

获得复旦大学复华奖教金，并评为“复旦大学优秀世纪之星”，2005

入选上海市科委“科技启明星”人才项目，2004

入选上海市教育委员会评选的“2003年度上海高校优秀青年教师后备人选”，2003

复旦大学“世纪之星”，获得“教学和科研综合奖”，2002

科研获奖：

教育部科技进步三等奖，1999

国际集成电路和固态技术会议上获“最佳研究生论文奖”，1998