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副高级
张立锋
工程师
电 话：
55664846
邮 箱：
lfzhang@fudan.edu.cn
地 址：
复旦大学邯郸校区微电子学楼B208室
研 究 所：
微纳电子器件研究所
研究方向：
原子层淀积(ALD)薄膜制备
集成电路MIM电容研究
高K介质研究
教育背景：
复旦大学，微电子学与固体电子学，博士
